EBARA荏原EV-SA 型紧凑型风冷干式真空泵 紧凑型风冷干式真空泵，排气速度高达 5,000 L/m。 节能 小巧轻便 空冷式 低噪音 无油 提高耐腐蚀性的方案 在不同频率（50Hz/60Hz）下性能相同 无油 符合CE认证/SEMI-S2/NRTL标准 占地面积小
EV-SA系列是一款紧凑型风冷干式真空泵，无需冷却水。尽管体积小巧，安装灵活，但其排量却十分可观，*大排气速度可达5000升/分钟。该系列真空泵仅需电源供电，节能高效，运行噪音低，适用于生产车间、实验室和科研机构等多种环境。尤其适用于各种分析仪器和电子显微镜等对排气要求较高的应用。
系列核心特点
纯风冷，无需冷却水，安装灵活，实验室 / 小型设备通用
无油干泵，洁净无油污染，满足 SEMI S2 标准
直流电机，50/60Hz 全球统一抽速，自带休眠节能模式
内置通讯接口、故障报警记录、LCD 本地控制面板
低噪音、轻量化，适合 Loadlock、SEM、镀膜、检测设备
五、适用场景
半导体预抽腔、光学镀膜、电子显微镜、等离子清洗、小型蒸镀、实验室真空设备、光伏小型腔体、水汽含量偏高的轻负荷工艺。
模型 单元 EV-SA20 EV-SA30 EV-SA50
电源 额定电压 50/60Hz 单相200-240V / 三相200-240V 单相200-240V / 三相200-240V 单相200-240V / 三相200-240V
允许的电压波动 ±10% ±10% ±10%
功率容量 千伏安 3 3 3
排气速度 升/分钟 1,670 3300 5000
极限压力 宾夕法尼亚州 3.0/ 5.0* 2.0/ 3.0* 0.5/1.0*
连接端口直径 进气口 西北40 西北40 NW50
排气口 西北40 西北40 西北40
达到压力时的近似功率值 千瓦 0.45 0.45 0.5
冷却方法 空冷式 空冷式 空冷式
近似质量 公斤 65 90 150
